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“扩散炉 扩散炉图片，价格，生产厂家”参数说明
| 是否有现货： | 是 | 认证： | 中国半导体行业 |
| 类型： | 成套加热设备 | 用途： | 电子 |
| 材质： | 不锈钢 | 型号： | CL |
| 规格： | CL | 商标： | 晨立 |
| 包装： | 行业包装 | 产量： | 200 |
“扩散炉 扩散炉图片，价格，生产厂家”详细介绍
微控高低温扩散炉
扩散炉主要满足半导体电力电子器件行业、大功率集成电路等行业，对所加工硅片进行扩散、氧化、退火、合金等工艺。主要由扩散炉加热炉体、气源系统、控制系统、超净化操作系统等组成。选用工控机微控方式或者程控方式操作。
扩散炉技术指标：
可处理硅片尺寸：2—8英寸
外型形式：卧式1—4管结构
工作温度：200℃—1300℃
恒温区长度及精度：200mm—100mm≤±0.5℃
单点温度稳定性、重复性：≤±1.5℃/24h
温度斜变：可控升温速率20℃／min， 可控降温速率：5℃／min
送片装置：全自动悬臂推拉舟、拉杆是推拉舟、手动推拉
气路系统：1—5路工艺气体／管
气体控制：全自动MFC、手动浮子流量计
控制方式：工控机、触摸屏方式操作。
我公司可根据客户要求，专业定制各式扩散炉、退火炉、烧结炉、真空焊接炉、CVD炉、加热电
炉及加热装置等，欢迎广大客户来电咨询。
